%0 Journal Article
%T 多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题
%A 李林瑛
%A 胡静涛
%J 计算机集成制造系统
%P 0-0
%D 2010
%X 为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题，研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆周期序列问题，证明了k晶圆周期序列的平均周期下界。提出了一种构造k晶圆周期序列的策略和实现该策略的构造算法，并根据构造算法推导出了平均周期的表达式。最后，通过仿真数据和国内某Track机厂商的真实数据验证了该策略的优越性和实用性。
%K 半导体制造
%K 多集束型装备
%K 双臂机械手
%K 缓冲加工模块
%K 并行机
%U http://www.cims-journal.cn/CN/abstract/abstract2530.shtml