%0 Journal Article
%T 面向代理的半导体生产线建模技术研究
%A 翟文彬
%A 褚学宁
%A 张
%A 洁
%A 马登哲
%J 计算机集成制造系统
%P 0-0
%D 2005
%X 为了有效分析和评价基于多代理的半导体生产线调度与控制性能，提出了面向代理的有色赋时Petri网的半导体生产线建模方法。将设备代理内部行为进行封装，建立了设备代理的有色赋时Petri网模型。同时，将半导体生产线多代理模型按层次划分为设备代理层、设备组层和系统层，有效地降低了模型的复杂性，提高了模型的可重用性。建立了分布式半导体生产线仿真平台，以实现基于面向代理的着色赋时Petri网的半导体生产线仿真定量分析与评价。以上海某半导体制造企业6英寸晶圆生产线为例，其仿真结果验证了建模与仿真的有效性。
%K 半导体生产线
%K 面向代理的着色赋时Petri网
%K 建模与仿真
%U http://www.cims-journal.cn/CN/abstract/abstract805.shtml