%0 Journal Article
%T 晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析
%A 潘春荣
%A 伍乃骐
%J 计算机集成制造系统
%P 2072-2078
%D 2015
%R 10.13196/j.cims.2015.08.012
%X 随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义。此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系统的调度和控制变得更加困难。基于eM-Plant仿真平台和优化算法,对重入加工双臂组合设备的初始暂态进行建模和仿真,分析了重入加工的初始暂态至稳态的过渡过程。采用仿真例子验证了该仿真系统的有效性,为组合设备重入加工的优化控制提供了借鉴。
%K 自动化组合设备
%K 重入加工
%K 建模与仿真
%K eM-Plant
%U http://www.cims-journal.cn/CN/abstract/abstract5257.shtml