%0 Journal Article
%T 配体氮上取代基对二齿双氨基脒钴(II)型ALD前驱体稳定性的影响
%A 李嘉烨
%A 吴金平
%A 周成冈
%A 姚淑娟
%A 韩波
%J 化学学报
%P 165-169
%D 2008
%X 新型的二齿双氮基脒金属前驱体bis-amidinate在原子层气相沉积(ALD)中表现出了广阔的应用前景.前驱体适用性取决于其是否具备适当的稳定性,而bis-amidinate型前驱体的稳定性可由侧链取代基上β基团的迁移重排来表征.利用密度泛函理论方法研究了配体氮原子上不同取代基对bis-amidinate型Co前驱体稳定性的影响.结果表明,β-H的迁移较β-Me的迁移相对容易,而β基团在不同取代基前驱体中的迁移能力次序为异丙基(β-H)＞2-丁基(β-H)＞叔丁基(β-CH3)
%K 原子层气相沉积
%K bis-amidinate
%K 过渡态
%K 密度泛函理论
%U http://sioc-journal.cn/CN/abstract/abstract330958.shtml