%0 Journal Article
%T 采用同步辐射源X射线衍射技术原位观测VLSI铝互连线的应力
%J 北京工业大学学报
%D 2005
%X 为研究VLSI金属互连线的应力导致IC器件失效的问题,采用同步辐射源X射线衍射技术,原位测试了VLSI中Al互连线在电迁徙及加热条件下的应力变化.沉积态的Al互连线在室温下为拉应力.退火过程使拉应力逐渐减小,在300～350℃过程中由拉应力转为压应力.在电流密度为(3×105～4×106)A/cm2,275min的电徙动实验过程中,Al互连线阳极端由拉应力转变为压应力,并随后随着电流密度的增加而增加.此外,采用扫描电镜(SEM)观察了Al互连线的电迁徙失效特征及应力释放过程.
%K 同步辐射源X射线衍射
%K Al互连线
%K 热应力
%K 电迁徙
%U http://www.bjgd.cbpt.cnki.net/WKA/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=807DDF25-8100-418F-95EC-019674B99A3E