%0 Journal Article
%T 用Cr/Au/Ni/Au制备n-GaN欧姆接触
%J 北京工业大学学报
%D 2005
%X 为了获得n-GaN的低接触电阻的欧姆接触,采用Cr/Au/Ni/Au金属化系统与n—GaN形成欧姆接触,并对其不同温度下的接触电阻率进行了测试分析.室温下Cr/Au/Ni/Au的接触电阻率为0.32mΩ·m2。随着温度的升高,接触电阻率略有增加,在300℃时接触电阻率为0.65mΩ·cm2,因此此欧姆接触适合在高温下使用.
%K n-GaN材料
%K 欧姆接触
%K 接触电阻率
%U http://www.bjgd.cbpt.cnki.net/WKA/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=5A7D7331-9804-4A5A-8990-709CD730C7EE