%0 Journal Article
%T 采用优化的腐蚀工艺对TiSi_2接触特性的改善
%J 北京工业大学学报
%D 2009
%X 针对传统TiSi_2工艺中RCA1(NH_4OH:H_2O_2:H_2O)溶液对于TiN/Ti与TiSi_2的选择性不好会造成硅化物的损失、提高接触电阻的问题,提出一种采用2次选择性腐蚀的工艺方法进行改善.通过具体的工艺实验证明,与传统工艺方法相比,该工艺方法可以在保持低漏电流的前提下,有效减少TiSi_2的损失,使得方块电阻降低约18%.该工艺方法具有简单易行的特点,适用于大规模工业生产.
%K TiSi_2
%K 选择性腐蚀
%K 工艺优化
%K RCA1溶液
%U http://www.bjgd.cbpt.cnki.net/WKA/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=F90B514D-D25D-481E-83CE-10CD7CFBA793