%0 Journal Article
%T 类金刚石薄膜的离子注氮研究
%J 北京工业大学学报
%D 2002
%X 以２５～３５ｋＶ的高能离子柬将离子化的双原子分子Ｎ２＋注入非晶态碳膜，硬度可提高１０ＧＰａ量级。分析研究表明：离子注氮并没有改变碳膜的非晶态结构，但所有拉曼结构参数发生变化，且碳、氮结合能峰位发生化学位移；显然注入的氮和碳形成化学键，并可能形成新相。结论：类金刚石薄膜离子注氮可合成氮化的类金刚石，改变化学结构，提高机械性能．
%K 离子注入
%K 类金刚石
%K 离子束氮化
%K 氮化碳
%U http://www.bjgd.cbpt.cnki.net/WKA/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=AF5A3B93-970A-4508-B199-F4AE0C769DA2