%0 Journal Article
%T 离子束增强沉积合成氮化钛薄膜的计算机模拟
%A 王曦
%A 周建坤
%A 陈酉善
%A 柳襄怀
%A 邹世昌
%J 金属学报
%P 136-141
%D 1991
%X 本文建立了一个适用于描述离子束增强沉积(IonBeamEnhancedDeposition,即IBED)过程的Monte-Carlo计算机模拟程序。程序由离子注入计算和蒸发沉积计算两大部分组成。离子注入计算以二体碰撞近似为基础,以随机固体为靶模型,对入射离子和所有反冲原子的力学运动进行跟踪。程序中考虑了沉积原子对靶室中某些残余气体分子的吸附;还表达了靶的组份及密度在IBED过程中的不断变化,从而实现了靶的动态化。该程序可以提供IBED薄膜组份的深度分布、界面混合以及能量沉积等信息。计算结果表明,在IBED氮化钛薄膜中,Ti沉积速率对薄膜组份有很大影响。当沉积速率较低时,薄膜组份基本与注入离子和沉积原子的到达率比(N/Ti)无关。膜与基体间的混合层厚度随离子原子到达率比(N/Ti)增加而增加。计算结果与实验测试结果符合很好。
%K 离子束增强沉积
%K 氮化钛薄膜
%K 计算机模拟
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1991/V27/I3/136