%0 Journal Article
%T 钢表面化学气相沉积TiC晶体的择优取向
%A 郭成言
%A 後藤孝
%A 平井敏雄
%J 金属学报
%P 85-89
%D 1992
%X 本文用化学气相沉积(CVD)法,以TiCl_4-CH_4-H_2为原料气体,在不锈钢表面获得了致密的TiC膜.研究了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向与沉积条什的关系.结果表明,沉积温度T_(dep),碳钛比CH_4/TiCl_4强烈地影响了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向.CH_4/TiCl_4低时,TiC晶体的择优取向为(220)而CH_4/TiCl_4高时,TiC晶体的择优取向为(200).TiC晶体的择优取向主要取决于气氛中活性碳的平衡浓度。
%K 择优取向
%K 成膜速度
%K 表面形貌
%K 活性碳的平衡浓度
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I7/85