%0 Journal Article
%T Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为
%A A.WAGENDRISTEL
%A 黄荣芳
%A H.BANGERT
%A 杨霞
%A 吴立航
%A 王海峰
%A H.PANGRATZ
%A P.SKALICKY
%J 金属学报
%P 78-84
%D 1992
%X 研究了Ti/TiN多层膜的显微结构,横截面试样的透射电镜研究和二次离子质谱深度分析均表明,该膜具有周期变化的多层结构,即基体/FeTi/Ti/Ti_2N/TiN/Ti_2N/Ti/Ti_2N/TiN…Ti/Ti_2N/TiN.制备了压痕试样的断口试样,并用扫描电镜进行了观察.结果表明,多层硬膜在压痕试验时发生形变,出现压痕坑,在其周围形成材料堆积.随着所加载荷的增加,形变区扩大,越过膜/基界面进入基体,引起膜内的层间开裂和在膜/基界面上形成孔洞,研究结果表明,和单层TiN相比,Ti/TiN多层膜具有较好的韧性.
%K Ti-N多层膜
%K 显微结构
%K 压痕
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I7/78