%0 Journal Article
%T 大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织
%A 冯钟潮
%A 郭良
%A 梁勇
%A 韩健
%A 侯万良
%A 宁小光
%J 金属学报
%P 67-71
%D 1992
%X 用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。
%K 激光化学气相沉积
%K Si_3N_4膜
%K 组织结构
%K 硬度
%K 耐磨
%K 抗蚀
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I8/67