%0 Journal Article %T Ar~(+)混合Fe-Dy多层膜的结构及性能 %A 李胜利 %A 王佩璇 %A 阎凤章 %A 马如璋 %J 金属学报 %P 160-163 %D 1994 %X 用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为32的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar~(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar~(+)离子注入能量110keV,剂量5×10~(15)─1×10~(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10~(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar~(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10~(15)/cm~2时下降幅度最大。 %K Fe─Dy多层膜 %K 离子束混合 %K 非晶化 %K 磁性 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y1994/V30/I4/160