%0 Journal Article
%T 温度对N离子注入金属深度分布的影响
%A 白彬
%A 张鹏程
%A 邹觉生
%A 陈元儒
%J 金属学报
%P 82-86
%D 2001
%X 研究了N离子注入金属表面时温度对N原子深度分布的影响.在常温-460℃范围内N离子注入到α-Fe和316L奥氏体不锈钢中的深度分布显著依赖于注入温度和基体材料.随注入温度升高,α-Fe中N深度分布形态为准Gauss形、梯形和扩散形,并发现N注入存在"盲区"注入温度,N表观扩散系数与注入温度的关系完全偏离Arrhenius方程.在316L不锈钢中,N呈扩散形分布,其表观扩散系数与注入温度的关系与Arrhenius方程较吻合.通过Auger谱线形分析、X射线衍射分析和TEM组织分析,认为N注入金属深度分布由离子注入混合作用、化学效应和热扩散作用中占主导地位者决定.
%K 离子注入
%K 温度
%K 深度分布
%K N
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2001/V37/I1/82