%0 Journal Article
%T 重掺Sb的Si单晶生长过程中熔体内Sb浓度变化规律
%A 佘思明
%A 成钧
%J 金属学报
%P 188-194
%D 1987
%X 本文建立了描述重掺Sb的si单晶生长过程中熔体内Sb浓度变化规律的数学模型。用该模型计算的理论曲线与实验曲线一致。结果表明,减压拉晶能有效地控制拉晶过程中由于溶质分凝造成的熔体内Sb浓度的增加,从而能大大地推迟“析出”。当炉膛压力大约减至2.7kPa时,能保持熔体中Sb浓度几乎不变。
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1987/V23/I3/188