%0 Journal Article
%T Ag-Pd合金表面的择优溅射
%A 董树忠
%A 庞嬿婉
%A 邓景发
%A 朱效中
%J 金属学报
%P 182-187
%D 1984
%X 用XPS方法研究了Ag-Pd合金在氩离子轰击下表面组成的变化。结果表明,由于Ag-Pd表面原子间结合能不同,合金在热退火后表面富Ag,经氩离子轰击后表面富Pd。将合金表面的Ag-Pd溅射产额比与相应的文献结果作了比较。在本文的实验条件下,合金组分间的相对溅射产额随合金成分变化,与氩离子轰击合金形成表面无序层有关。含Pd量为0.32at.-％的稀Pd合金的溅射结果表明,其组分的溅射产额比与含Pd量较多时的结果有明显差别。
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1984/V20/I2/182