%0 Journal Article
%T 辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系
%A 任建世
%A 张功杼
%A 王桢枢
%A 刘根
%A 刘圣麟
%J 金属学报
%P 85-89
%D 1992
%X 在恒定气压和电压条件下,用测量溅射减量的方法,系统研究了Cr—Fe,Bi-Sb,Cu—Zn,Ag—Cu,Al-Zn和Cd—Sn六个系统的25个试样在辉光放电灯中溅射率与组分的关系结果表明;阴极溅射在稳态时,二元合金(不形成金属间化合物)的溅射率与组元浓度的普遍关系是双曲线,只有在某些特殊情况下,两组元的溅射率相差不大时,可以近似看成线性关系。
%K 二元合金
%K 辉光放电
%K 阴极溅射
%K 溅射率
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I5/85