%0 Journal Article
%T Ti对磁控溅射不锈钢薄膜结构的影响
%A 杨德钧
%A 周虹辉
%A 李辉勤
%J 金属学报
%P 81-84
%D 1993
%X 研究了磁控溅射321不锈钢薄膜内Ti对膜结构由晶态向非晶态转化的影响用X射线衍射分析了膜的结构,结果表明,膜的结构随含Ti量不同而有变化在Ti含量(wt-％)为0—3,3—10,10-18,18-30时,膜的结构分别为α-Fe,α-Fe+x相,非晶+微晶,非晶态
%K 磁控溅射
%K 薄膜
%K 321不锈钢
%K Ti
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1993/V29/I4/81