%0 Journal Article
%T 离子束辅助沉积Fe-N薄膜的相形成
%A 江海
%A 武庆兰
%A 陶琨
%A 李恒德
%J 金属学报
%P 273-276
%D 1994
%X 用离子束辅助沉积方法合成Ｆｅ－Ｎ薄膜，用离子束背散射和Ｘ射线衍射方法分析薄膜成分和结构．结果表明，薄膜的组分（α－Ｆｅ，ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－Ｆｅ（２－３）Ｎ，γ＇－Ｆｅ４Ｎ相等）取决于沉积参数。给出了沉积温度和Ｎ／Ｆｅ原子到达比组成的相区域图．
%K 氮化铁
%K 离子束辅助沉积
%K 磁性薄膜
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1994/V30/I18/273