%0 Journal Article
%T 薄膜厚度的电子探针测量软件与应用
%A 尚玉华
%A 郭延风
%A 刘志东
%A 徐乐英
%J 金属学报
%P 443-448
%D 1997
%X 利用Sewell的X射线激发深度公式建立起用电子探针测量有衬底纯元素薄膜厚度的应用软件；测量了Ti，Cu，Mo等四种厚度的薄膜标样的质量厚度，并对测量误差进行分析；最后给出了各种纯元素薄膜厚度的测量下限．
%K 电子探针
%K 金属薄膜
%K 质量厚度
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1997/V33/I4/443