%0 Journal Article
%T 低温热处理CoN/CN软X射线多层膜的界面互扩散研究
%A 白海力
%A 姜恩永
%J 金属学报
%P 406-411
%D 1998
%X 在473—523K的低温退火条件下，通过对CoN／CN软X射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为，并测得低至10-25m2s-1的有效扩散系数通过和Co/C多层膜的结果相比较，发现N掺杂使CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为明显不同于Co／C多层膜，并具有如下特点（1）有效扩散系数和宏观扩散系数较小；（2）扩散激活能较大；（3）临界波长相等Co—N，C—N之间存在的强化学键以及N原子的填隙，减小了结构弛豫和界面扩散这表明通过N掺杂有希望改善Co／C软X射线多层膜的结构热稳定性.
%K 软X射线多层膜
%K 掺杂
%K 有效扩散系数
%K 临界波长
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1998/V34/I4/406