%0 Journal Article %T Fe_x(In_2O_3)_(1-x)磁性颗粒膜的微结构与磁性 %A 张连生 %A 张林 %A 张汝贞 %A 刘宜华 %A 张维咸 %A 黄宝歆 %J 金属学报 %P 1095-1098 %D 1998 %X 用射频溅射法制备了金属/半导体Fex(In2O_3)(1-x)颗粒膜.用XRD,TEM辅以磁性测量研究了该系列颗粒膜的微结构实验结果表明,纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中.退火可使In2O3晶化,其晶格常数与Fe的体积分数有关;退火可使Fe颗粒长大,由超顺磁性变为铁磁性. %K 金属颗粒膜 %K 微结构 %K 半导体 %K 超顺磁性 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y1998/V34/I10/1095