%0 Journal Article
%T 不锈钢表面沉积SiC作为氢渗透阻挡层的研究
%A 王佩璇
%A 王宇
%A 史宝贵
%J 金属学报
%P 654-658
%D 1999
%X 在３１６Ｌ不锈钢片表面上用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）和溅射沉积加上离子注入方法制备Ｓｉ－Ｃ薄膜,测量氚通过钢片的渗透率,并用ＸＰＳ,ＡＥＳ,ＸＲＤ及ＴＥＭ等分析薄膜的成分和结构,结果表明,改性膜使不锈钢的氚渗透降低近５个数量级,随着制备条件的汪同,膜中的Ｃ／Ｓｉ原子比不同,用双靶（Ｓｉ,Ｃ）加Ｃ离子轰击的ＩＢＡＤ方法可得到的较高的Ｃ／Ｓｉ比.
%K 碳化硅
%K 氚
%K 渗透
%K 不锈钢
%K IBAD
%K 氢渗透阻挡层
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1999/V35/I6/654