%0 Journal Article %T 电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究 %A 李明升 %A 王福会 %A 王铁钢 %A 宫骏 %A 孙超 %A 闻立时 %J 金属学报 %P 55-60 %D 2003 %X 利用电弧离子镀设务在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出了B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能;B1结构(Ti,Al)薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高. %K 电弧离子镀 %K (Ti %K Al)N薄膜 %K 结构变化 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I1/55