%0 Journal Article
%T 电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度
%A 纪爱玲
%A 汪伟
%A 宋贵宏
%J 金属学报
%P 979-983
%D 2003
%X 采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜，研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响。结果表明，氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响，在氧流量为130cm^3／s、脉冲偏压为-100V时，出现Cr2O3{001}面择优取向；氧流量增高，脉冲偏压增大时，薄膜的表面形貌得到改善；在脉冲偏压为-200V、氧流量为130cmf^3／s时，可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜，其硬度达到36GPa.
%K Cr2O3薄膜
%K 电弧离子镀
%K 组织结构
%K 脉冲偏压
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I9/979