%0 Journal Article
%T 用薄膜内耗仪测定薄膜应力
%A 李健
%A M.Wuttig
%J 金属学报
%P 1225-1227
%D 2003
%X 采用一种新的薄膜内耗仪观测Ni50Ti50薄膜样品的形变(薄膜形变造成薄膜与载膜硅片之间的界面应力)随温度或其它环境参量的变化．同步测量了薄膜的内耗、动态模量、薄膜应力以及Ni50Ti50薄膜的相变过程.
%K 内耗
%K 形状记忆效应
%K 薄膜应力
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I11/1225