%0 Journal Article
%T Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜
%A 胡倾宇
%A 赵航炜
%A 闻立时
%A 王永忠
%A 乔桂文
%J 金属学报
%P 152-154
%D 1989
%X 本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学组成接近123相。薄膜的超导起始转变温度为100K,零电阻温度为78K。
%K 超导
%K 薄膜
%K Si衬底
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1989/V25/I3/152