%0 Journal Article %T CVD法合成SiC晶须的实验研究 %A 陈卫武 %A 邹宗树 %A 王天明 %J 金属学报 %P 643-649 %D 1997 %X 利用简单的实验设备,特殊的金属丝作触媒,以SiO2和C为原料,利用碳热还原反应生成的SiO和CO,通过CVD(化学气相沉积)的方法快速合成α-SiC晶须用光学显微镜研究了晶须的生长速度,通过TEM研究α-SiC晶须的结构和生长方式讨论了这种方法中α-SiC晶须生长的热力学条件、机理及生长动力学模型 %K CVD %K SiC晶须 %K 合成 %K 机理 %K 热力学条件 %K 动力学模型 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y1997/V33/I6/643