%0 Journal Article
%T 多晶沉积薄膜生长过程中织构演变的模拟研究
%A 王沿东
%A 刘沿东
%A 徐家桢
%A 梁志德
%J 金属学报
%P 313-318
%D 1998
%X 将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑薄膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Al多晶薄膜沉积过程中晶体的生长规律，分析了织构演变的主要微观物理因素.
%K 多晶薄膜
%K 织构演变
%K 组态熵
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1998/V34/I3/313