%0 Journal Article %T Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究 %A 唐武 %A 徐可为 %A 王平 %A 李弦 %J 金属学报 %P 449-452 %D 2002 %X 采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度. %K Au/NiCr/Ta多层膜 %K 表面粗糙度 %K 纳米压入 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I5/449