%0 Journal Article
%T CoSi2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征
%A 姜传海
%A 程凡雄
%A 吴建生
%J 金属学报
%P 487-490
%D 2005
%X 利用二维X射线衍射线形分析方法，分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形。结果表明，薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异，主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关，其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大，同时该方向的显微畸变最小。
%K CoSi2
%K 薄膜材料
%K 二维X射线衍射
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2005/V41/I5/487