%0 Journal Article
%T Ti(0001)表面低能沉积Ti原子的分子动力学模拟
%A 黄河
%A 颜超
%A 赖新春
%A 刘天伟
%A 张庆瑜
%J 金属学报
%P 211-216
%D 2009
%X 采用嵌入原子势,运用分子动力学(MD)研究了Ti(0001)表面低能沉积不同能量Ti原子时表面吸附、溅射和空位的变化.低能Ti原子沉积Ti(0001)表面过程中,存在一个溅射能量阈值,其值大约为40---50eV.入射原子能量低于溅射阈值时,入射原子可以认为是沉积原子;入射原子能量大于溅射阈值时,溅射产额随入射原子能量的增加而线性增加.表面吸附原子和溅射原子的分布都呈现6次旋转对称,当入射原子能量大于溅射阈值时,表面吸附原子主要是基体表层原子,入射原子直接成为表面吸附原子的概率很小.空位缺陷主要分布在基体的最表层,当入射原子能量大于溅射阈值时,基体次表层产生的空位缺陷随入射原子能量的增加而增多.
%K 分子动力学
%K (MD)
%K 嵌入原子法
%K (EAM)
%K 溅射
%K 吸附
%K 空位
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2009/V45/I2/211