%0 Journal Article
%T AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性
%A 张立东
%A 王飞
%A 陈顺礼
%A 汪渊
%J 金属学报
%P 1611-1616
%D 2013
%R 10.3724/SP.J.1037.2013.00207
%X 通过多靶共溅射的方法,制备了(AlCrTaTiNi)N和双层AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明,Cu/(AlCrTaTiNi)N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和(AlCrTaTiNi)N的粘附性.AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu--Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.
%K 高熵合金
%K 双层扩散阻挡层
%K 热稳定性
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2013/V49/I12/1611