%0 Journal Article
%T 脉冲离子束辐照对TiH2膜表面微观结构的影响
%A 刘洋
%A 向伟
%A 王博宇
%J 金属学报
%P 1269-1274
%D 2013
%R 10.3724/SP.J.1037.2013.00122
%X 在TEMP－6型强流脉冲离子束装置上,利用能量密度0.1－0.5J/cm2,脉宽100ns,能量100keV的C+和H+混合离子束对TiH2膜进行逐次轰击以研究其在脉冲能量下的稳定性.采用扫描电镜和表面轮廓仪对TiH2膜辐照前后表面形貌进行研究;利用X射线衍射和慢正电子湮没技术对脉冲离子束辐照前后TiH2膜的物相和缺陷结构进行分析.结果表明0.1－0.3J/cm2的脉冲束流辐照热－力效应不足以导致膜明显熔化和开裂;0.5J/cm2的脉冲束流辐照致使膜明显熔化并伴随产生大量的网状裂纹.0.1－0.3J/cm2的脉冲辐照条件下TiH2的物相结构未发生明显变化,而0.5J/cm2条件下δ－TiH2开始发生向体心四方(bct)结构的非平衡相变,并且随着辐照次数的继续增加膜内开始析出纯Ti的物相.脉冲束流辐照下的热－力学效应导致膜内缺陷的分布发生显著改变,导致膜的慢正电子Doppler展宽谱的S参数在0.5J/cm25次轰击时达最小,而在0.3J/cm21次轰击时最大.
%K TiH2
%K 脉冲离子束
%K 表面形貌
%K 慢正电子湮没技术
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2013/V49/I10/1269