%0 Journal Article
%T C含量对TiWCN复合膜微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响
%A 喻利花
%A 董鸿志
%A 许俊华
%J 金属学报
%P 1350-1356
%D 2014
%R 10.11900/0412.1961.2014.00183
%X 采用磁控溅射仪制备了一系列不同C含量的TiWCN复合膜.利用XRD,SEM,纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对TiWCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能进行了表征.结果表明TiWCN复合膜由fcc结构的TiWCN相和六方结构的Ti2N相组成;随着C含量增加,薄膜硬度先升高后降低,室温摩擦系数逐渐减小,而磨损率先减小后增大.当C含量为11.25%时,硬度达到最大值,为35.97GPa;磨损率获得最小值,为1.26×10-5mm3·N-1·m-1.当C含量为13.68%时,摩擦系数最小,为0.32.当温度低于370℃时,TiWCN复合膜的摩擦系数和磨损率小于TiWN薄膜;当温度超过370℃时,TiWCN复合膜的摩擦系数和磨损率大于TiWN薄膜.C添加到TiWN薄膜中提高了薄膜的力学性能和常温摩擦磨损性能,而薄膜的高温摩擦磨损性能并未得到改善.
%K 磁控溅射
%K TiWCN复合膜
%K 微结构
%K 力学性能
%K 摩擦磨损性能
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2014/V50/I11/1350