%0 Journal Article
%T 银辅助化学刻蚀半导体材料
%A 耿学文
%A 贺春林
%A 徐仕翀
%A 李俊刚
%A 朱丽娟
%A 赵连城
%J 化学进展
%P 1955-1965
%D 2012
%K 银
%K 化学刻蚀
%K 半导体
%U http://www.progchem.ac.cn/CN/abstract/abstract10973.shtml