%0 Journal Article
%T 化学气相沉积法制备氮化钛
%A 王淑涛
%A 张祖德
%J 化学进展
%D 2003
%X 本文以氮化钛的CVD制备为例,说明了源物质的选择对CVD过程的影响.在此基础上,综述了化学气相沉积技术在材料制备领域的最新进展.
%K 化学气相沉积
%K 源物质
%K 氮化钛
%K 制备
%U http://www.progchem.ac.cn/CN/abstract/abstract8881.shtml