%0 Journal Article
%T 图案化TiO2薄膜的制备技术
%A 梁山
%A 陈淼
%J 化学进展
%P 1659-1665
%D 2008
%X 本文综述了图案化TiO2薄膜的制备技术，按图案的生成方式可分为图案的直接生成，掩膜复制法，硬质模板复制法三大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法、光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法、光敏凝胶膜法等。硬质模板法也称软刻蚀技术，分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术。对每类方法的优缺点作了适当评述，对今后图案化TiO2薄膜制备的研究方向提出了一些建议。
%K 图案化
%K TiO2膜
%K 写蚀
%K 自组装
%K 光刻胶
%K 光敏膜
%K 软刻蚀
%K 微接触印刷
%U http://www.progchem.ac.cn/CN/abstract/abstract9884.shtml