%0 Journal Article
%T 金属β－二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜*
%A 许效红
%A 侯云
%A 王民
%A 王弘
%A 周爱秋
%J 化学进展
%D 2002
%X 对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β－二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述，对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍，并对它们的应用前景作了展望。
%K 金属β-二酮化合物
%K 金属有机化学气相沉积
%K 铁电薄膜
%U http://www.progchem.ac.cn/CN/abstract/abstract8775.shtml