%0 Journal Article %T 离子源内电子回旋共振等离子体诊断与分析 %A 金逸舟 %A 杨涓 %A 罗立涛 %A 冯冰冰 %A 汤明杰 %J 高电压技术 %P 2950-2957 %D 2015 %R 10.13336/j.1003-6520.hve.2015.09.018 %X 电子回旋共振离子推力器(ECRIT)离子源的内部磁场会干扰离子源内等离子体诊断,选择合理的诊断方法需要分析离子源特性,了解磁场对诊断结果的影响。为此,采用朗缪尔(Langmuir)探针诊断了离子源的等离子体信息,根据朗缪尔探针理论得到电子温度、电子数密度、离子数密度,根据Druyvesteyn方法得到电子温度、电子数密度。结合实验现象,对比了不同方法所得诊断参数差异,分析了诊断结果的准确性。诊断结果表明诊断位置到轴线的径向距离>;10mm后,离子数密度由3.0×;1017m-3增至1.8×;1018m-3,符合离子源的放电原理和实际的放电形貌;不同处理方法所得电子温度、电子数密度接近,电子温度诊断值范围是4~20eV,电子数密度诊断值范围是(2.0~9.0)×;1016m-3。离子数密度诊断结果较电子数密度诊断结果准确;电子温度较低时,使用积分得到的电子温度更准确;平行于探针的磁场会显著降低诊断得到的电子数密度,探针收集面垂直于磁场可减弱磁场干扰。 %K 电推进 %K 电子回旋共振 %K 离子源 %K 磁场 %K 等离子体诊断 %K 离子数密度 %K 电子数密度 %K 电子温度 %U http://hve.epri.sgcc.com.cn/CN/abstract/abstract389.shtml