%0 Journal Article
%T 氩气和氪气作为ECR中和器工质的性能比较
%A 杨涓
%A 冯冰冰
%A 罗立涛
%A 金逸舟
%A 汤明杰
%J 高电压技术
%P 2850-2855
%D 2015
%R 10.13336/j.1003-6520.hve.2015.09.004
%X 为比较使用不同气体工质的电子回旋共振(ECR)中和器的性能，在真空环境下，用一个电子收集板模拟离子的作用，将电子电流从ECR中和器中引出，实验研究了以氩气和氪气为工质时，ECR中和器引出电子电流的大小以及中和器的性能。实验结果表明以氩气为工质，ECR中和器在体积流量0.8mL/min时，88.6V电压可引出103.8mA的电子电流，工质利用效率和电子损耗分别为1.2789W/A和194.573W/A；以氪气为工质，ECR中和器在体积流量0.6mL/min时，75V电压可引出108mA电子电流，工质利用效率和电子产生损耗分别为1.7832W/A和176.7W/A。以氪气为工质的中和器性能明显优于氩气，但2种工质都可以满足ECR离子源中和离子束流的需要。
%K 电子回旋共振等离子体
%K ECR中和器
%K 电子束流
%K 工质利用效率
%K 电子损耗
%K 氩气
%K 氪气
%K 引出电压
%U http://hve.epri.sgcc.com.cn/CN/abstract/abstract375.shtml