%0 Journal Article
%T 基于激光热应力法的薄膜蠕变性能评估方法
%A 李粤
%A 张永康
%J 农业机械学报
%P 156-159
%D 2007
%X 采用单脉冲激光在薄膜表面进行局部加载，对薄膜在受热区域、冷热接合部及与基体连接界面产生的热应力、热应变及应力松弛进行理论分析，研究薄膜的蠕变机制和非弹性变形的热力学响应。分析结果表明，薄膜受高温及冷却退火作用都会产生应力松弛；冷却退火还会形成拉应力，薄膜裂纹由拉应力过大引起，薄膜的蠕变性能是薄膜断裂前的热力学行为，由应力的性质和大小决定，用激光热应力法可以实现对薄膜性能的评估。
%K 薄膜
%K 蠕变
%K 裂纹
%K 应力
%U http://www.j-csam.org/jcsam/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=070339&flag=1