%0 Journal Article
%T 一体化微操作器误差分析与建模
%A 纪华伟
%A 杨世锡
%A 吴昭同
%J 农业机械学报
%P 136-140
%D 2007
%X 为评价各种误差对微操作器精度的影响，以一体化超精密微操作器为研究对象，分析了加工误差、机构原理误差、测量误差、环境带来的误差以及驱动误差等造成微操作器精度降低的因素，建立了加工误差的偏微分方程解析模型，并用有限元仿真验证了加工误差模型的准确性。在详细分析误差源的基础上，提出了提高微操作器精度的措施。
%K 微操作器
%K 误差分析
%K 柔性铰链
%K 压电陶瓷
%U http://www.j-csam.org/jcsam/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=070334&flag=1