%0 Journal Article
%T 流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分
%A 林谢昭
%A 应济
%A 陈子辰
%J 农业机械学报
%P 203-207
%D 2009
%X 微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响，在器件优化设计中，需要建立静电—结构—流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响。为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼，建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析；与相关文献结果比较验证了计算的正确性；得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情况。分析认为，微开关动/静态闭合电压的差异在介质粘性较大环境中较小，而在介质粘性较小环境中较大。
%K 静电致动器
%K 流固耦合
%K 数值仿真
%K 微机电系统
%U http://www.j-csam.org/jcsam/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=090345&flag=1