%0 Journal Article
%T 基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究
%A 蒋洪奎
%A 朱春耕
%A 胡礼广
%A 姚汤伟
%J 农业机械学报
%P 205-207
%D 2007
%R 10.3969/j.issn.1000-1298.2007.8.070852
%X 结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟，研究刻蚀加工机理，分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素，刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素，加工材料性质、表面质量等工件因素对加工的影响及作用机理。
%K 纳米机械
%K 刻蚀
%K 分子动力学模拟
%K 原子力显微镜
%U http://www.j-csam.org/jcsam/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=070852&flag=1