%0 Journal Article
%T 纳米三坐标测量机误差分离方法
%A 杨洪涛
%A 费业泰
%A 陈晓怀
%J 农业机械学报
%P 140-143
%D 2008
%X 根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求，选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置，实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整。从原理上分析了45°反射镜光路转折对干涉仪测量结果的影响，实验结果证实了该装置可以实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆、滚转误差的一次性分离，减小传统仪器分离方法由于发热、振动和非实时测量带来的附加误差，误差修正精度可以提高
%K 纳米三坐标测量机
%K 误差分离装置
%K 设计
%K 试验
%U http://www.j-csam.org/jcsam/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=080336&flag=1