%0 Journal Article
%T 6英寸高压晶闸管的研制
%A 刘国友|黄建伟|舒丽辉|李世平|邹冰艳|王大江
%J 电网技术
%D 2007
%X 基于5英寸换流阀晶闸管的设计和工艺技术平台，通过优化杂质扩散工艺、光刻版设计和台面造型保护工艺，保证了掺杂分布的均匀性、重复性和可控性，以及器件良好的阻断特性，确保器件获得较高的电流上升率、电压上升率，研制出了6英寸4000A/8000V高压晶闸管样品。并采用电子辐照技术得到进一步优化，对器件的通态压降与反向恢复电荷的折衷关系。
%K 6英寸晶闸管
%K 特高压直流输电
%K 换流阀
%K 电子辐照
%U http://www.dwjs.com.cn/CN/abstract/abstract21121.shtml