%0 Journal Article %T 新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统设计 %A 曹岚 %A 杨波 %A 朱宪亮 %A 张海燕 %A 龚海梅 %J 科技导报 %P 20-23 %D 2011 %R 10.3981/j.issn.1000-7857.2011.28.001 %X 依据新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统的技术要求,设计了具有两套抽气系统的全自动化高真空排气台,主真空系统以机械泵和分子泵作为前级泵,溅射离子泵作为主抽泵;辅助真空系统由机械泵和分子泵组成,用于主系统预抽。该真空系统采用计算机控制技术程控真空排气工艺,为多工位结构,具有全自动化的功能。根据理论计算分析,该设备能满足红外组件寿命试验对真空的要求。 %K 红外组件 %K 寿命试验 %K 真空 %K 自动化 %U http://www.kjdb.org/CN/abstract/abstract8449.shtml