%0 Journal Article
%T 微型机械研究的现状及展望
%A 王立鼎
%A 崔天宏
%A 吕琼莹
%J 科技导报
%P 42-45
%D 1993
%X 微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。
%U http://www.kjdb.org/CN/abstract/abstract6260.shtml