%0 Journal Article
%T 抗过载片上集成MEMS悬浮螺旋电感
%A 李建华
%A 卢冲赢
%A 徐立新
%A 武浩
%J 科技导报
%P 57-61
%D 2015
%R 10.3981/j.issn.1000-7857.2015.05.008
%X 针对微机电系统(MEMS)悬浮电感机械性能较差问题,设计了一种应用于高过载环境的片上集成MEMS悬浮螺旋电感。通过采用一种新颖的阶梯式螺旋线圈结构,有效减小了悬浮线圈在高过载环境中的变形与应力。利用ANSYS和HFSS软件对设计的电感力学性能和射频性能进行联合仿真。仿真结果表明,采用阶梯式螺旋线圈的MEMS悬浮电感的抗过载能力比采用等截面线圈的传统MEMS悬浮电感提高了近3倍,并且具有相当的射频性能;与增加了支撑柱的等截面MEMS悬浮电感相比,所设计的MEMS悬浮电感具有与之相当的力学性能,但是其射频性能明显优于增加了支撑柱的电感。
%K 微机电系统
%K 悬浮螺旋电感
%K 阶梯式螺旋线圈
%K 过载
%U http://www.kjdb.org/CN/abstract/abstract12503.shtml